工作原理
往復式真空泵：利用泵腔內(nèi)活塞做往復式運動，將氣體吸入、壓縮并排出。

水環(huán)真空泵：葉輪旋轉(zhuǎn)時，液體被拋向四周形成水環(huán)，葉輪輪轂與水環(huán)之間的月牙形空間被葉片分成若干小腔，小腔容積隨葉輪旋轉(zhuǎn)周期性變化，實現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣。

羅茨真空泵：泵內(nèi)兩個葉形轉(zhuǎn)子反向同步旋轉(zhuǎn)，從抽真空進氣口吸進空氣，從排氣口排出氣體。

油擴散泵：泵油加熱產(chǎn)生油蒸氣，經(jīng)噴嘴高速噴出，被抽氣體分子擴散到蒸氣流中，沿蒸氣流方向被壓縮到低真空端，由前級泵抽走。

濺射離子泵：空間電子在磁場作用下使氣體分子電離，離子飛向陰極，濺射鈦原子并沉積，產(chǎn)生抽氣作用。

主要類型
干式真空泵：包括爪式、渦旋式、羅茨式和螺桿式等，具有無油污染、寬抽速范圍等優(yōu)勢，廣泛應用于半導體行業(yè)。例如螺桿干泵，利用一對螺桿同步高速反向旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生吸氣和排氣作用。

分子泵：主要有渦輪分子泵和磁懸浮分子泵，通過高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子將動量傳遞給氣體分子，使其獲得定向速度并被壓縮至排氣口，適用于高真空環(huán)境。

低溫泵：利用低溫表面捕集氣體，可達到超高真空，如冷泵通過液氦或制冷機冷卻的冷板使氣體凝結(jié)。
性能指標
極限壓力：真空泵能夠達到的zui低壓力，單位為 Pa，反映了真空泵的真空度極限。
抽氣速率：在一定壓力下，單位時間內(nèi)真空泵抽出氣體的體積，單位為 m3/h 或 L/s，體現(xiàn)了真空泵的抽氣能力。
前級壓力：對于需要前級泵的真空泵，前級泵能達到的壓力，影響著主泵的正常工作。
應用領(lǐng)域
廣泛應用于冶金、化工、食品、電子鍍膜、石油、醫(yī)藥等行業(yè)的真空冶煉、真空鍍膜、真空熱處理、真空干燥等工藝過程中。
在半導體集成電路薄膜沉積、刻蝕、離子注入等對真空環(huán)境要求較高的干法工藝中也有重要應用。